Sunの ZFSは行います ：
ZFSでは、すべてのデータとメタデータは、ユーザーが選択可能なアルゴリズムを使用してチェックサムされます。チェックサムを提供する従来のファイルシステムは、ボリューム管理レイヤーと従来のファイルシステム設計のために、必然的に、ブロックごとにチェックサムを実行していました。従来の設計では、ブロック全体を誤った場所に書き込むなどの特定の障害モードでは、実際には正しくないデータが適切にチェックサムされる可能性があります。 ZFSチェックサムは、これらの障害モードが検出され、正常に回復できるように格納されます。すべてのチェックサムとデータ回復はファイルシステム層で行われ、アプリケーションに対して透過的です。
そして Linuxのbtrfsを実行します ：Btrfsはデータとメタデータの両方のチェックサムもサポートします。データチェックサムはオプションであり、-o nodatasumでマウントすることで無効にできます。